脈沖直流磁控濺射電源具備如下顯著特點:
● 采用先進的逆變技術與進口IGBT模塊搭配設計
● 有效減少電荷累計效應,提升膜層質量
● 理想的電壓陡降特性,充分適配鍍膜工藝連續性需求
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