中頻濺射電源特點:1.自主知識產權,采用德國IGBT與MOS相結合技術!2.采用國外最新微電子PWM控制保護技術。3.恒流(恒功率)精度高。恒定效果優秀。
中頻濺射電源特點:
1.自主知識產權,世界獨家采用德國IGBT與MOS相結合技術!
2.采用國外最新微電子PWM控制保護技術。
3.恒流(恒功率)精度高。恒定效果優秀。
4.輕便、高效、相同功率、國內體積最??!
5.大功率中頻電源鍍膜時可做到永不停產!
典型應用:
1.手機外殼中頻磁控濺射鍍膜設備。
2.手表外殼中頻多弧鍍膜設備。
3.ITO導電玻璃連續生產線。
4.LOW-E低輻射玻璃連續鍍膜生產線。
5.卷繞磁控濺射柔性鍍膜設備。
PLT/DCS直流磁控濺射電源型號及參數
型 號 功率 頻率 冷卻 控制方式 空載電壓 最大電流 模塊數量
PLT/MFS10K 10KW 45KHz 水冷 恒流 AC1000V 15A 1
PLT/MFS20K 20KW 45KHz 水冷 恒流 AC1000V 25A 1
PLT/MFS30K 30KW 45KHz 水冷 恒流/恒功 AC1000V 35A 1
PLT/MFS40K 40KW 45KHz 水冷 恒流/恒功 AC1000V 50A 1+2
PLT/MFS60K 60KW 45KHz 水冷 恒流/恒功 AC1000V 75A 1+3
上述型號,機身尺寸全部:L580 X W445 X H180mm。
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